给AI芯片“退烧”:国内首款12英寸多晶碳化硅衬底在长沙问世

发布时间:2026-10-29 14:33

  查询公开资料,12 英寸多晶碳化硅衬底,是一种直径约 300 毫米、由许多微小碳化硅晶粒构成的大尺寸陶瓷基板。该基板主要作为先进封装和高温半导体工艺中的高导热支撑、散热基底,帮助 AI 芯片等高功率器件把热量快速导出。

  该公司在新闻稿中指出当前半导体碳化硅赛道,市场目光大多聚焦单晶 SiC 衬底,而多晶碳化硅配套材料属于行业蓝海与隐形刚需。

  高端多晶材料长期受制于人,成为制约国内产线扩产的关键痛点,大尺寸致密化、高纯度制备、热性能匹配是亟待攻克的核心技术瓶颈。

  据介绍,该产品由团队历经两年多全流程攻关制成,期间曾损耗两台气相沉积炉,并攻克材料致密化、大尺寸成型、应力调控等技术难题。

  在关键性能上,该衬底沉积速度达每小时 60 微米,明显高于国内外同行 10 至 20 微米的水平;最低电阻率可小于 1 毫欧 · 厘米,优于国外同行约 10 毫欧 · 厘米的水平;孔洞缺陷少于每平方厘米 0.1 个,有助于提升芯片良率。

  该产品目前已通过台积电相关认证测试,并向三星送样,同时与谷歌、英伟达等企业展开合作。项目正处于样品验证向小批量试产过渡阶段,预计 2027 年后逐步规模化供货。

  该公司于 2026 年投资新建高纯高致密碳化硅部件及多晶衬底产业基地项目,全面投产后,可年产 20 万片半导体用高性能碳化硅、碳化钽涂层产品。

  官方介绍称本次推出的国内首创 12 英寸 Poly-SiC 多晶衬底,实现多项关键指标突破:依托气相沉积、超临界多相法 TaC 涂层等自研核心技术,产品实现≥300W/ 超高热导率,已远超国际先进半导体材料厂商平均水平,同时实现零长裂纹、微裂纹,极低孔洞缺陷,具备优异的热学性能与结构稳定性,彻底打破大尺寸成型与高纯度制备国外技术垄断。

  依托 Poly-SiC 卓越的导热系数 优异的适配性,形成高效导热通道,完美解决散热问题,我司研发的多晶碳化硅复合衬底比行业现有技术节约近 20% 的成本。

  单晶碳化硅衬底国内窗口指导限制,通过复合衬底进行大规模量产及降本。刻蚀环部件将客户加工良率提升 60%。

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