御微半导体国内首款可完整覆盖90~28nm掩模图形缺陷检测设备发运

发布时间:2026-07-29 23:45

  该设备可分辨精细图形、规避辅助图形干扰,快速检出图形缺损、表面污染物等各类问题,同时适配掩模制造厂、晶圆厂两大场景,满足全流程品质管控需求。

  官方表示,自 2025 年初,可完整覆盖 90nm 及以上的初代机型 Raptor-500 交付落地后,经过一年多现场产线迭代打磨,Raptor-600 完成全方位技术升级:

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