攻坚“小光刻机”,惠然微电子将发布14nm研发级晶圆CD-SEM

发布时间:2026-09-02 14:48

  半导体量测设备是芯片制造过程中的“眼睛”,贯穿光刻、刻蚀、沉积等全部核心工艺环节,直接决定晶圆良率水平与制程迭代速度。电子束关键尺寸量测设备又是先进制程晶圆良率控制的核心装备之一,

  据江苏省无锡市滨湖产业集团介绍,惠然微电子是国内唯一自主正向研发 CD-SEM 并实现出货的企业,2024 年 6 月落地滨湖后营业收入实现 6 倍增长。本次展出的 CD-SEM、Mask CD-SEM 和 EBI 是晶圆生产质量控制和良率保证的关键设备,可为多层化、复杂化的集成电路生产提供重要微观数据。

  9 月 1 日下午,“芯链协同 共创未来”滨湖区集成电路产业对接会举行,惠然微电子与国内 IDM 半导体龙头企业华润微电子签署战略合作框架协议,双方将围绕半导体设备国产化,联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用,并建立技术交流机制和人才培养机制,深度协同产业链上下游资源整合,共同推动关键半导体装备自主可控进程。

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