台积电 CEO 魏哲家在年度股东大会上表示，台积电在下一代芯片制造领域。对于外界认为台积电在极昂贵先进设备导入方面落后于竞争对手、因而可能处于劣势的担忧，魏哲家予以否认。

　　阿斯麦是此类设备的独家制造商，外界普遍认为，阿斯麦设备对继续推进先进芯片制造极限至关重要。魏哲家说明了台积电对阿斯麦设备的立场。“事实是，我们已经购买了这种设备，团队也正在积极进行研发。只是这种设备目前还没有用于大规模量产。”

　　阿斯麦光刻机通过光刻方式在硅晶圆上刻出微细结构，已经成为高性能 AI 芯片制造中的关键设备。最先进的 High-NA EUV 技术能够制造更小、更密集的晶体管结构。

　　High-NA EUV 的分辨率无可比拟，不过每台设备的价格远高于现有世代光刻系统，导入成本构成巨大门槛。

　　英特尔等台积电竞争对手已经率先采用 High-NA EUV，设备价格最高可达 4 亿美元。在魏哲家看来，价格正是最大问题。

　　魏哲家告诉股东，台积电目前更关心如何提高设备的运行效率，以降低制造成本。只有在经济账算得过来、财务上确实有利可图之后，公司才会让这些设备投入日常工厂生产。

　　魏哲家的说法延续了台积电高管张晓强4 月的表态。当时，张晓强在台积电技术论坛上表示，台积电当前的一些目标仍可依靠标准 EUV 工具实现，新设备只是“非常昂贵”。这番话曾引发阿斯麦股价下跌。