该工艺线 月完成点亮,仅半年多时间完成全部设备二次调试与工艺优化。区别于实验室小型试制平台,
,搭建起从材料制备到芯片集成的完整工程化链条。原集微科技董事长包文中表示,依托二维材料原子级厚度的天然优势,
今年下半年,团队将基于刚通线 英寸中试平台,打通等效硅基 90nm 的工艺路径,推动二维半导体从实验室“手搓”器件向工业化标准设计迈进;
据介绍,该 PDK 面向高校和研究所科研客户,是二维半导体领域首个提供二维 PDK 并兼容目前主流 EDA 工具链的工艺 IP,包含 Pcell、DRC、LVS、PEX 等工具包,为客户提供了从设计到制造的全流程工具支撑。
、各方面指标突破了二维半导体的国际纪录,基本接近硅基同等制程水准,未来可支持 10 万管级二维电路设计和晶圆级制造。
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